據《金融時報》援引知情人士透露，中芯國際開始測試由本土公司研發的深紫外(DUV)光刻機。
9月17日，據《金融時報》援引知情人士透露，中國芯片制造龍頭中芯國際開始測試由上海初創企業宇量昇研發的深紫外(DUV)光刻機。此舉被業界視為打破海外技術封鎖、保障AI芯片供應鏈安全的戰略性一步，標志著中國在攻克“卡脖子”技術難題上進入了實質性階段。
DUV光刻機雖非最頂尖的EUV設備，但仍是制造7nm及以上制程芯片的主力設備，涵蓋了目前絕大多數車用芯片、物聯網芯片以及人工智能(AI)處理器。
本次國產設備的提供方——宇量昇，是一家備受關注的國資控股高新企業。公司專注于光刻機中的關鍵曝光系統，旨在通過自主研發來穩定國內芯片供應鏈，減少對阿斯麥(ASML)的依賴。作為國產光刻技術的“挑戰者”，宇量昇獲得了國內多家研究機構與政府的大力支持。
據悉，此次測試的DUV光刻機采用了與ASML系統類似的全浸沒技術。該設備大部分零部件為中國國內制造，但仍有部分零件是從國外采購，宇量昇正在努力盡快實現所有零部件的國產化。據報道，中芯國際此次試驗的早期結果較為樂觀，但目前尚不清楚該機器是否以及何時能用于大規模芯片生產。
長期以來，高端光刻機技術被ASML等海外企業壟斷，對中國半導體產業發展形成制約。此次中芯國際的測試，是中國半導體設備國產化進程中的重要嘗試。
資本市場對此消息反應迅速且熱烈。9月17日，中芯國際A、H 股齊拉升，A股股價一度上漲10%，港股股價也大幅攀升。截止發稿時，中芯國際股價上漲6.58%，達到117元高位，顯示出投資者對中芯國際在國產光刻設備驗證方面的進展給予了積極反饋，以及市場對中國半導體自主化前景的信心。受此影響，光刻機概念股高開，盤中持續走強。個股方面，永新光學、波長光電雙雙漲停，國林科技、蘇大維格、茂萊光學、新萊應材、藍英裝備等漲幅領先。
SEMI報告顯示，2025 Q2全球半導體設備出貨金額達到330.7億美元，同比增長24%。中國大陸銷售額達113.6億美元，同比下滑2%，環比增長11%，以約34.4%的份額穩居全球第一大半導體設備市場。而中芯國際作為中國集成電路制造領域的領軍企業，此次對國產DUV光刻機的測試，不僅關乎中芯國際自身的技術升級與產能擴充，更有望帶動整個半導體產業鏈加速實現國產化替代，推動中國半導體產業在全球競爭格局中占據更有利的位置。
信息來源:ESM China
日期：2025年9月19日
